PLR3000微米級高精度光纖激光尺是新一代高精度位置檢測設(shè)備，基于激光干涉測量原理，專為超精密加工、微電子制造、光刻技術(shù)、航空航天等高要求領(lǐng)域設(shè)計。其突破性技術(shù)融合高穩(wěn)定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸，支持單軸至多軸測量。

PLR3000系列光纖激光干涉尺測量儀分辨率可達(dá)10nm，線性精度高達(dá)0.2ppm，為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

中圖光纖激光尺分辨率可達(dá)10nm，線性精度高達(dá)0.2ppm，為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

PLR3000光纖激光尺中圖儀器分辨率可達(dá)10nm，線性精度高達(dá)0.2ppm，為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

PLR3000光纖激光測量尺基于激光干涉測量原理，分辨率可達(dá)10nm，線性精度高達(dá)0.2ppm，為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

PLR3000多自由度激光尺測量儀分辨率可達(dá)10nm，線性精度高達(dá)0.2ppm，為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。