產品簡介

基于白光干涉原理，中圖儀器自主研發生產的SuperViwe W1國產白光干涉儀采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優點的擴展型相移算法EPSI，單一模式即可適用于從平面到弧面、超光滑到粗糙等各種表面類型，讓3D測量變得簡單。廣泛應用于3C電子、微納米材料、微機電、光學加工、半導體、超精密加工等行業中精密元器件的表面粗糙度、幾何輪廓等參數的測量和分析。

白光干涉儀是3D檢測領域中高精度的精密測量儀器之一，特別是在一些納米級和亞納米級的超精密加工領域。市場中的國外白光干涉儀品牌，因為價格昂貴，讓很多企業望而卻步，品質和售后也是參差不齊。做的好的國產白光干涉儀不多，中圖儀器自主研發生產的SuperView W1白光干涉儀算一個。

SuperView W1白光干涉儀跟國外的zygo白光干涉儀對標，品質和售后也有保障，更大的優勢是軟件方面。基于白光干涉原理，中圖儀器自主研發生產的SuperViwe W1白光干涉儀采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優點的擴展型相移算法EPSI，單一模式即可適用于從平面到弧面、超光滑到粗糙等各種表面類型，其*的3D重建算法，自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統的配合測量精度可達亞納米級別，讓3D測量變得簡單。

產品參數

標準配置

可選配置

產品特點

1、參數測量：粗糙度、圍觀輪廓尺寸、角度、面積、體積、一網打盡；

2、環境噪聲檢測：實時監測，納米波動，也無可藏匿；

3、雙重防撞保護：軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器，讓“以卵擊石”也能安然無恙；

4、自動拼接：3軸光柵閉環反饋，讓3D拼接“天衣無縫”；

5、雙重振動隔離：氣浮隔振，吸音隔振，任你“地動山搖，我自巋然不動”。

性能特征

1、高精度、高重復性

3D重建算法、精密Z向掃描模塊和光學干涉技術組成的測量系統，以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統，保證了測量精度和測量重復性。

2、一體化操作的測量分析軟件

測量數據自動統計，可視化窗口，結合自定義分析模板的自動化測量功能，實現了快速批量測量的功能，自動完成多區域的測量與分析過程。

3、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完成Z向聚焦、載物臺平移、找條紋等測量前工作。

4、雙重防撞保護措施

（1）軟件防撞保護ZSTOP

即在Z軸上設置停止位，設置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離，當鏡頭運動到該位置時，就立刻停止不再向下運動，起到保護樣品和鏡頭的作用。

（2）Z軸硬件防撞傳感器

在鏡頭的上方安裝有機械防撞傳感器，當鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時，觸發感應器，鏡頭與樣品表面變為軟接觸，并觸發緊急停止開關，不再響應向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷，雙重防護，守護設備和產品，也守護每一分價值和信任。

應用領域

中圖儀器研發生產的SuperView W1國產白光干涉儀讓輪廓測量價格更為實惠，分辨率0.1μm，重復性0.1%，應用領域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。適用于各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙間隙、彎曲變形情況、腐蝕情況、表面缺陷、臺階高度、波紋度、磨損情況、面形輪廓、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

深圳市中圖儀器股份有限公司是高新技術企業，致力于精密測量、計量檢測等儀器設備的研發、生產和銷售。經過十多年在幾何量測量領域的潛心研究，設計制造了Super View系列白光干涉儀、GT系列激光跟蹤儀、SJ6000系列激光干涉儀、SJ5100系列高精度測長機、SJ5700系列輪廓測量儀、SJ5200系列螺紋綜合測量機、SJ2000系列指示表自動檢定儀等眾多測量、計量設備。從納米級的微觀形貌檢測到百米級的大尺寸高精度測量，為用戶提供專業的精密測量解決方案。