產品簡介

中圖儀器PLR3000位移高精度測量光纖激光尺有什么用？它配置高穩定氦氖光光源，穩頻精度可達0.02ppm。激光通過保偏光纖引導，用戶可輕松將光路配置到任意需要測量位置，減少阿貝誤差。

PLR3000位移高精度測量光纖激光尺配置高穩定氦氖光光源，穩頻精度可達0.02ppm。激光通過保偏光纖引導，用戶可輕松將光路配置到任意需要測量位置，減少阿貝誤差。

一、光纖激光尺有什么用

基于激光干涉測量原理，是一種高精度、高靈敏度、高速度的位置檢測設備。在微電子、微機械、微光學等現代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。

二、光纖激光尺的優點

1. 納米級信號輸出：10nm高分辨率（支持外部拓展），正交數字/1Vpp正余弦信號雙輸出，適配各類控制器；

2. 全環境自適應：一體化環境氣象站，實時補償環境參數對測量的影響，數據長期可靠；

3. 靈活安裝設計：激光主機與探頭分離，3m鎧裝光纖連接，遠離熱源干擾，狹小空間也能便捷安裝；

4. 多維度測量支持：單軸/雙軸/三軸自由配置，搭配多種干涉探頭，輕松實現多自由度測量；

5. 雙重使用模式：既可作為激光干涉儀獨立測量，也可接入系統實現閉環位置反饋控制；

三、光纖激光尺怎么用

1.高精度數控機床的位置反饋：如加工航空航天設備的高精度大型機床，此時就需要激光閉環來滿足；

2.高精度大型坐標測量機：大型工件測量往往對精度和量程要求很高，同時還對溫度非常敏感，光纖激光干涉尺的環境補償組件可以對溫度進行補償，使之更合適高精度大型坐標測量機使用；

3.光刻機：光纖激光尺的高精度、高抗震性能，非常適合光刻機使用；

4.高精度運動平臺：光纖激光尺安裝在高精度直線電機上，做高精度直線電機的反饋，可直接提升運動平臺的控制精度；

5.普通光柵尺刻劃、檢驗：由于光纖激光尺的測量精度高出普通光柵尺一個數量級，所以可以使用光纖激光尺作為“母光柵"進行光柵尺的刻劃、檢驗工作；

6、其他檢驗檢測設備：配合高精度圓光柵，可以做絲杠導程誤差的檢測。雙軸測量可減小阿貝誤差，降低機械成本。

四、光纖激光尺使用案例

1. 半導體制造：光刻機晶圓精準定位、精密工件臺閉環反饋，助力芯片制造良率提升；

2. 航空航天：發動機葉片形變檢測、高精度裝配校準，保障核心部件可靠性；

3. 精密加工：數控機床多軸聯動位置反饋、微機械元件測量，提升加工精度與效率；

4. 科研領域：光學平臺穩定性監測、超精密實驗設備控制，支撐前沿研究數據精準度；

五、產品服務

1.定制化支持：按需提供量程拓展、線纜定制、探頭配置等個性化方案，精準匹配客戶具體場景（如8m長行程機床、5m航空部件檢測）；

2.精度背書：提供深圳市jiliangyuan/中國jiliangyuan出具的校準證書，長量程測量數據可追溯，滿足工業合規要求；

3.全周期服務：1年質保+7×24小時技術響應，長量程安裝、拓展、調試全程提供專業指導，現場問題平均解決時效≤4小時。

注：產品參數隨技術迭代優化，相關內容可能實時更新，恕不另行通知。

相比傳統鋼帶尺或玻璃光柵，PLR3000位移高精度測量光纖激光尺具有更加精確的柵距和更高的分辨率，同時其熱源隔離設計，保證了更高的穩定性，具有安裝快捷，易于準直等特點，是特別為超高精度位置反饋應用而設計。

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