產品簡介

PLR3000系列10nm分辨率光纖激光尺以突破性激光干涉技術，一站式解決高要求場景下的位置檢測難題。已在多個客戶端進行精度驗證：用差分干涉（DI）探頭對高精度納米位移臺進行閉環控制，在10mm行程內任意位置實現納米級位置控制精度。

光纖激光尺比傳統光柵精度高10倍，分辨率達原子層級（10nm=100個原子直徑！）以突破性激光干涉技術，一站式解決高要求場景下的位置檢測難題。PLR3000系列10nm分辨率光纖激光尺已在多個客戶端進行精度驗證：用差分干涉（DI）探頭對高精度納米位移臺進行閉環控制，在10mm行程內任意位置實現納米級位置控制精度。

一、產品優勢

1.高精度

分辨率10nm（可拓展），線性測量精度0.2ppm，穩頻精度0.02ppm，滿足納米級測量需求。

環境氣象站實時補償溫度、濕度、氣壓對測量的影響，確保數據長期穩定。

2.靈活配置

支持單軸、雙軸、三軸輸出，輕松實現多自由度測量。

可選差分干涉儀、平面鏡干涉儀、角錐棱鏡干涉儀等多種探頭，適配復雜場景。

3.高穩定性與便捷性

激光光源與探頭分離設計，3米鎧裝光纖連接，避免設備散熱干擾，安裝靈活。

體積小巧，適配狹小空間，降低阿貝誤差風險。

4.廣泛適用性

最大量程4米（可拓展），支持動態速度達2m/s，覆蓋從靜態檢測到高速運動場景。

二、測量功能

1.納米級信號輸出：10nm高分辨率（支持外部拓展），正交數字/1Vpp正余弦信號雙輸出，適配各類控制器；

2. 全環境自適應：一體化環境氣象站，實時補償環境參數對測量的影響，數據長期可靠；

3. 靈活安裝設計：激光主機與探頭分離，3m鎧裝光纖連接，遠離熱源干擾，狹小空間也能便捷安裝；

4. 多維度測量支持：單軸/雙軸/三軸自由配置，搭配多種干涉探頭，輕松實現多自由度測量；

5. 雙重使用模式：PLR3000系列10nm分辨率光纖激光尺既可作為激光干涉儀獨立測量，也可接入系統實現閉環位置反饋控制；

三、典型應用

1. 半導體制造：光刻機晶圓精準定位、精密工件臺閉環反饋，助力芯片制造良率提升；

2. 航空航天：發動機葉片形變檢測、高精度裝配校準，保障核心部件可靠性；

3. 精密加工：數控機床多軸聯動位置反饋、微機械元件測量，提升加工精度與效率；

4. 科研領域：光學平臺穩定性監測、超精密實驗設備控制，支撐前沿研究數據精準度；

注：產品參數將根據技術迭代持續優化，故本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。