產品簡介

PLR3000高精度位置反饋激光干涉尺分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，一站式解決高要求場景下的位置檢測難題，為超精密加工、微電子制造、航空航天等領域打造“精準+高效+靈活"的測量體驗。

中圖儀器PLR3000高精度位置反饋激光干涉尺分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，一站式解決高要求場景下的位置檢測難題，為超精密加工、微電子制造、航空航天等領域打造“精準+高效+靈活"的測量體驗。

一、產品功能

1. 納米級信號輸出：10nm高分辨率（支持外部拓展），正交數字/1Vpp正余弦信號雙輸出，適配各類控制器；

2. 全環境自適應：一體化環境氣象站，實時補償環境參數對測量的影響，數據長期可靠；

3. 靈活安裝設計：激光主機與探頭分離，3m鎧裝光纖連接，遠離熱源干擾，狹小空間也能便捷安裝；

4. 多維度測量支持：單軸/雙軸/三軸自由配置，搭配多種干涉探頭，輕松實現多自由度測量；

5. 雙重使用模式：PLR3000高精度位置反饋激光干涉尺既可作為激光干涉儀獨立測量，也可接入系統實現閉環位置反饋控制；

二、產品優勢

1. 精度碾壓傳統方案：相比鋼帶尺/玻璃光柵，柵距更精準、分辨率更高，環境補償技術進一步保障數據穩定性；

2. 定制化適配能力：支持量程拓展、探頭選配、多通道輸出，根據客戶生產場景量身定制方案；

3. 降本增效屬性：體積小巧降低阿貝誤差，安裝快捷減少調試成本，動態測量能力適配高速生產線；

4. 全周期可靠保障：激光校準認證加持，數據可追溯，滿足工業生產合規要求；

三、產品應用

1. 半導體制造：光刻機晶圓精準定位、精密工件臺閉環反饋，助力芯片制造良率提升；

2. 航空航天：發動機葉片形變檢測、高精度裝配校準，保障核心部件可靠性；

3. 精密加工：數控機床多軸聯動位置反饋、微機械元件測量，提升加工精度與效率；

4. 科研領域：光學平臺穩定性監測、超精密實驗設備控制，支撐前沿研究數據精準度；

注：產品參數將隨技術迭代優化，相關內容可能實時更新，恕不另行通知，敬請諒解。

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