產品簡介

PLR3000數控機床多軸聯動位置反饋光纖激光尺分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，具有更高的穩定性，安裝快捷，易于準直等特點，為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。

PLR3000數控機床多軸聯動位置反饋光纖激光尺分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，具有更高的穩定性，安裝快捷，易于準直等特點，為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學等現代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。

一、產品優勢

1. 高精度

（1）分辨率10nm（可拓展），線性測量精度0.2ppm，穩頻精度0.02ppm，滿足納米級測量需求。

（2）環境氣象站實時補償溫度、濕度、氣壓對測量的影響，確保數據長期穩定。

2. 靈活配置

（1）支持單軸、雙軸、三軸輸出，輕松實現多自由度測量。

（2）可選差分干涉儀、平面鏡干涉儀、角錐棱鏡干涉儀等多種探頭，適配復雜場景。

3. 高穩定性與便捷性

（1）激光光源與探頭分離設計，3米鎧裝光纖連接，避免設備散熱干擾，安裝靈活。

（2）體積小巧，適配狹小空間，降低阿貝誤差風險。

4. 廣泛適用性

大量程4米（可拓展），支持動態速度達2m/s，覆蓋從靜態檢測到高速運動場景。

二、性能特點

1.超高精度

10nm高分辨率（支持外部拓展），PRO版線性精度達0.2ppm（普通版0.5ppm），穩頻精度低至0.02ppm，相當于4米測量距離誤差僅0.8μm，滿足納米級生產檢測需求；

2.全場景適配

量程4m（可按需拓展），動態測量速度支持2m/s，覆蓋從靜態實驗室檢測到高速生產線聯動的全場景；

3.環境抗干擾

一體化環境氣象站實時補償溫度（10-40℃）、氣壓（650-1150mbar）、濕度（0-95%無凝露）影響，實測在-10℃至45℃工況下，數據穩定性仍保持±0.1ppm以內；

4.靈活安裝設計

激光主機（2.8Kg）與探頭（460-500g）分離，3m鎧裝光纖連接（可定制長度），狹小空間安裝無壓力，阿貝誤差降低60%以上。

三、應用案例

1. 半導體制造：光刻機晶圓精準定位、精密工件臺閉環反饋，助力芯片制造良率提升；

2. 航空航天：發動機葉片形變檢測、高精度裝配校準，保障核心部件可靠性；

3. 精密加工：數控機床多軸聯動位置反饋、微機械元件測量，提升加工精度與效率；

4. 科研領域：光學平臺穩定性監測、超精密實驗設備控制，支撐前沿研究數據精準度；

PLR3000數控機床多軸聯動位置反饋光纖激光尺基于激光干涉測量原理，專為超精密加工、微電子制造、光刻技術、航空航天等高要求領域設計。其突破性技術融合高穩定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸，支持單軸至多軸測量。產品參數將根據技術迭代持續優化，故本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。