產品簡介

CEM3000系列100Pa倉內真空度掃描電鏡操作系統簡便，使用過程簡單快捷。具有高度的靈活性和豐富的功能，包括多種檢測器、附件，可以滿足廣泛的研究和工業需求，包括半導體芯片失效分析。

掃描電鏡是眾多不同研究領域中的一個關鍵工具，范圍覆蓋從材料科學、工業生產甚至生命科學領域所涉及的一切內容。只要需要關于樣品表面或近表面區域的形貌、成分和結構信息，掃描電鏡分析都是必要的步驟，SEM掃描電鏡也就成為必要的工具。

傳統的落地式SEM掃描電鏡儀器可能需要一個專門的房間或設施，而中圖儀器CEM3000系列100Pa倉內真空度掃描電鏡的框架尺寸還有所縮小，具有更高的易用性，要堅固耐用得多。

CEM3000系列100Pa倉內真空度掃描電鏡操作系統簡便，使用過程簡單快捷。樣品一鍵裝入，自動導航和一鍵出圖能力（自動聚焦+自動消像散+自動亮度對比度）幫助用戶在短短幾十秒內就可獲取高清圖像，大大提升了使用效率。具有高度的靈活性和豐富的功能，包括多種檢測器、附件，可以滿足廣泛的研究和工業需求，包括半導體芯片失效分析。無論樣品尺寸、重量、導電性如何，掃描電鏡都可以讓您輕松應對挑戰，獲得出色的SEM圖像和SEM分析結果。

產品功能

1）臺式電鏡緊湊的外型，能夠不受場地尺寸制約，真正做到了空間適用性，用戶甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。同時CEM3000也能根據用戶需求，輕松移機，一臺機器多處開花；

2）高分辨率，能夠對微尺寸特征進行觀測分析，滿足用戶的觀測需求；

3）快速抽放氣，憑借真空系統設計，該系列臺式電鏡縮短了用戶抽放氣的等待時間；

4）高易用性，能夠快速成像、一鍵出片，用戶使用自動調節功能，無需過多人工操作，就可得到高質量拍攝圖片；

5）大樣品倉，CEM3000A在保證較小外型尺寸同時，具有比肩立式電鏡的大倉室，從而容納更大尺寸樣品；

6）高抗振防磁性能，全系列電鏡均具有優秀的抗干擾能力，特別是CEM3000B使用本公司技術，基于復合抗振手段，將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度；

7）可選配低真空模式，保證用戶能夠根據需要設定電鏡樣品倉內真空度，進而對不同類型的樣品進行觀測；

8）能夠提供多種成像參數供用戶選擇，滿足專業用戶的調節需求；

9）搭配有多種探頭，能夠對樣品進行多種手段的分析。

機型選擇

CEM3000全系列電鏡均具有優秀的抗干擾能力，特別是CEM3000B基于復合抗振手段，將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度。CEM3000系列臺式掃描電鏡，不僅擁有強大的抗振性能和高效的工業應用能力，而且操作靈活和成像質量可靠，在現代制造業中為用戶帶來突破性的檢測解決方案：

CEM3000A（大樣品倉型）：70mm×70mm樣品倉，兼容大尺寸或多樣品批量分析。

CEM3000B（抗振型）：專為振動環境設計，抽氣更快（低真空僅40秒），成像更穩定。

應用領域

CEM3000系列掃描電鏡外型緊湊，空間適用性強，整機采用大量的抗干擾設計，避免使用環境造成的影響，拓寬了應用范圍。同時，該系列臺式電鏡具有非常豐富的自動調節功能，能夠對不同類型的樣品進行觀測，具有高空間分辨率。搭配不同的探頭，同時接收多種信號，對樣品進行分析。

應用案例

金屬材料分析

花粉微觀形態

部分技術指標

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