產品簡介

PLR3000系列0.2ppm激光干涉尺測量儀是新一代高精度位置檢測設備，基于激光干涉測量原理，專為超精密加工、微電子制造、光刻技術、航空航天等高要求領域設計。其突破性技術融合高穩定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸，支持單軸至多軸測量。

PLR3000系列0.2ppm激光干涉尺測量儀是新一代高精度位置檢測設備，基于激光干涉測量原理，專為超精密加工、微電子制造、光刻技術、航空航天等高要求領域設計。其突破性技術融合高穩定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸，支持單軸至多軸測量。相比傳統鋼帶尺或玻璃光柵，光纖激光尺具有更加精確的柵距和更高的分辨率，同時其熱源隔離設計，保證了更高的穩定性，具有安裝快捷，易于準直等特點。

PLR3000系列0.2ppm激光干涉尺測量儀分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學等現代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。

功能特點

1、高分辨率數字正交信號輸出，分辨率達10nm（可外部拓展）。

2、高測量精度，線性測量精度達0.2~0.5ppm。

3、高穩頻精度，可達0.02~0.05ppm。

4、測量范圍大，最大量程可達4m（可拓展）。

5、激光發射裝置與干涉探頭分離，通過3m鎧裝光纖與電纜連接，可將激光尺主機遠離被測量設備，便于安裝，同時還可避免主機散熱對測量通路的影響。

6、輸出正交數字信號或1Vpp正余弦信號，可以適用于不同的控制器。

7、體積小巧，適合狹小空間安裝，可最大限度降低阿貝誤差。

8、即可作為激光干涉儀進行測量，也可用于閉環位置反饋控制。

9、多通道輸出，可輕松實現多軸同時測量及多自由度測量。

10、環境補償功能，一體化的環境氣象站自動監視及更新環境氣象參數，實時補償溫度、空氣壓力和濕度對激光在空氣中空氣折射率的影響，保證測量的準確性。

核心優勢

1. 高精度

（1）分辨率10nm（可拓展），線性測量精度0.2ppm，穩頻精度0.02ppm，滿足納米級測量需求。

（2）環境氣象站實時補償溫度、濕度、氣壓對測量的影響，確保數據長期穩定。

2. 靈活配置

（1）支持單軸、雙軸、三軸輸出，輕松實現多自由度測量。

（2）可選差分干涉儀、平面鏡干涉儀、角錐棱鏡干涉儀等多種探頭，適配復雜場景。

3. 高穩定性與便捷性

（1）激光光源與探頭分離設計，3米鎧裝光纖連接，避免設備散熱干擾，安裝靈活。

（2）體積小巧，適配狹小空間，降低阿貝誤差風險。

4. 廣泛適用性

大量程4米（可拓展），支持動態速度達2m/s，覆蓋從靜態檢測到高速運動場景。

典型應用場景

半導體制造：光刻機晶圓定位、精密工件臺反饋控制。

航空航天：發動機葉片形變檢測、高精度裝配校準。

精密加工：數控機床多軸聯動位置反饋、微機械元件測量。

科研領域：光學平臺穩定性監測、超精密實驗設備控制。

服務與支持

定制化方案：根據需求提供探頭配置、量程拓展、環境補償單元等靈活選配。

專業認證：提供激光校準證書，確保數據性。

全球服務網絡：1年質保，技術支持團隊7×24小時響應，快速解決現場問題。