產品簡介

PLR3000系列光纖激光尺配置高穩定氦氖激光光源，激光通過保偏光纖引導，用戶可輕松將干涉儀配置到任意需要測量位置，最大限度減小阿貝誤差。可根據用戶需求，配置單軸、雙軸以及三軸輸出，輕松實現多軸測量或多自由度測量。

PLR3000系列光纖激光尺是新一代高精度位置檢測設備，基于激光干涉測量原理，專為超精密加工、微電子制造、光刻技術、航空航天等高要求領域設計。其突破性技術融合高穩定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸，支持單軸至多軸測量，分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。  

PLR3000系列光纖激光尺配置高穩定氦氖激光光源，激光通過保偏光纖引導，用戶可輕松將干涉儀配置到任意需要測量位置，最大限度減小阿貝誤差。可根據用戶需求，配置單軸、雙軸以及三軸輸出，輕松實現多軸測量或多自由度測量。同時提供多種干涉探頭配置，用戶可根據實際需求選擇角錐棱鏡干涉儀、平面鏡干涉儀和差分干涉儀以及無內置干涉鏡組的測量探頭，滿足用戶各種復雜場景應用。

核心優勢  

1. 高精度  

（1）分辨率10nm（可拓展），線性測量精度0.2ppm，穩頻精度0.02ppm，滿足納米級測量需求。  

（2）環境氣象站實時補償溫度、濕度、氣壓對測量的影響，確保數據長期穩定。  

2. 靈活配置  

（1）支持單軸、雙軸、三軸輸出，輕松實現多自由度測量。  

（2）可選差分干涉儀、平面鏡干涉儀、角錐棱鏡干涉儀等多種探頭，適配復雜場景。  

3. 高穩定性與便捷性  

（1）激光光源與探頭分離設計，3米鎧裝光纖連接，避免設備散熱干擾，安裝靈活。  

（2）體積小巧，適配狹小空間，降低阿貝誤差風險。  

4. 廣泛適用性  

大量程4米（可拓展），支持動態速度達2m/s，覆蓋從靜態檢測到高速運動場景。  

典型應用場景  

半導體制造：光刻機晶圓定位、精密工件臺反饋控制。  

航空航天：發動機葉片形變檢測、高精度裝配校準。  

精密加工：數控機床多軸聯動位置反饋、微機械元件測量。  

科研領域：光學平臺穩定性監測、超精密實驗設備控制。  

服務與支持  

定制化方案：根據需求提供探頭配置、量程拓展、環境補償單元等靈活選配。  

專業認證：提供中國計量院或深圳市計量院出具的激光校準證書，確保數據性。  

全球服務網絡：1年質保，技術支持團隊7×24小時響應，快速解決現場問題。