產品簡介

中圖儀器光學輪廓儀分辨率0.1μm，重復性0.1%，應用領域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。廣泛應用于如納米材料、航空航天、半導體等各類精密工件表面質量要求高的領域中，可以說只有3d非接觸式光學輪廓儀才能達到微型范圍內重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數的測量。

中圖儀器光學輪廓儀SuperViewW1囊括粗糙度、平面度、孔洞分析等3D測量功能，距離、角度、直徑測量等2D輪廓分析功能覆蓋，有依據ISO|ASME|EUR|GBT四大國內外標準的300余種特征參數，是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。

SuperViewW1光學輪廓儀以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量。

產品功能

1）設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能；

3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能；

4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

雙重防撞保護措施

除初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外，另在Z軸上設計有機械電子傳感器，當鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進入緊急停止狀態，保護儀器，降低人為操作風險。

1）軟件防撞保護ZSTOP

ZSTOP，顧名思義，就是軟件設置在Z軸上的停止位，設置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離，當鏡頭運動到該位置時，就立刻停止不再向下運動，起到保護樣品和鏡頭的作用。

2）Z軸硬件防撞傳感器

在鏡頭的上方安裝有機械防撞傳感器，當鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時，觸發感應器，鏡頭與樣品表面變為軟接觸，并觸發緊急停止開關，不再響應向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷，雙重防護，守護設備和產品，也守護每一分價值和信任。

中圖儀器光學輪廓儀分辨率0.1μm，重復性0.1%，應用領域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。廣泛應用于如納米材料、航空航天、半導體等各類精密工件表面質量要求高的領域中，可以說只有3d非接觸式光學輪廓儀才能達到微型范圍內重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數的測量。