產品簡介

SuperViewW1微米級白光干涉儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

光學器件，例如各種光學鏡片和玻璃，屬于超精密加工的產物，因此其表面質量等級很高。一般的非接觸式光學影像方法沒有辦法客服其高透明度，中圖儀器SuperViewW1微米級白光干涉儀為光學鏡片和玻璃的表面質量檢測提供了標準解決方案。

SuperViewW1微米級白光干涉儀結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數。

可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中；

可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。

產品性能

縱向掃描：≤10.3mm，與選用物鏡相關

掃描幀速：50FPS/s

粗糙度重復性：0.005nm（依據ISO 25178-2012）

光學分辨率：0.4μm~3.7μm，與選用物鏡相關

至大點數：1048576（標準）

臺階測量：準確度≤0.3%，重復性≤0.08%1σ

應用示例

【玻璃表面臺階檢測】

　　下圖為透明玻璃表面鍍的一層金屬膜，需要測膜層的厚度，由于其非透明的特性，薄膜測厚儀無法進行測量，而由于其膜層厚度精度在納米級別，接觸式的臺階儀和其它的非接觸式光學儀器也存在測量誤差較大的風險，而以光學干涉原理為基礎研制成的中圖儀器白光干涉儀，以其亞納米級別的測量精度，則可對該膜層厚度進行準確測量。

對兩臺階高的檢測

上圖是利用軟件的自動面臺階高檢測功能對重建的3D圖像兩臺階高進行檢測，從數值可知，兩臺階面平均高度差為82nm，而至大高度差90nm，至小高度差為78nm。

【玻璃屏檢測】

玻璃屏常見于我們日常所用的智能產品中，例如智能手機、智能手表，還有平板電腦等，為了獲得更好的觸屏體驗，需要對玻璃屏的表面粗糙度和微觀輪廓進行檢測。以手機玻璃屏為例，說明光學3D表面輪廓儀在其中的應用： 

玻璃屏表面粗糙度檢測

如上圖，選取的測量區域發現了一條寬6um，深6nm的肉眼無法觀測到的劃痕，玻璃屏表面的粗糙度在1nm附近。