產品簡介

中圖儀器3d光學輪廓儀設備可以達到納米級的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數據。可廣泛應用于汽車零部件、半導體制造及封裝工藝檢測、微納材料及制造、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、高校科研院所等領域中。

中圖儀器3d光學輪廓儀設備可測從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，以及各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。是一款以白光干涉技術為原理，用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。

工作過程

精密Z向掃描模塊與3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，進而獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量。

技術參數

行業技術的快速更新換代，對檢測儀器企業提出了更高的要求，我們只有主動出擊，迎接挑戰，不斷推出符合市場需求的儀器設備才能立于不敗之地！中圖儀器3d光學輪廓儀設備可以達到納米級的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數據。可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、汽車零部件、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、高校科研院所等領域中。

中圖儀器，堅持以技術創新為發展基礎，致力于精密測量、計量檢測等儀器設備的研發、生產和銷售，為用戶提供從納米到百米的精密測量解決方案！