產品簡介

SuperView W1系列三維表面形貌儀是以白光干涉技術為原理，獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優點，適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型，讓3D測量變得簡單。

SuperView W1系列三維表面形貌儀基于白光干涉原理研制而成，采用擴展型的相移算法EPSI，集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優點，單一模式即可適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型，讓3D測量變得簡單。

白光干涉原理

產品參數

產品型號：SuperView W1

產品名稱：光學3D表面輪廓儀

影像系統：1024×1024

光學ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環反饋

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可測樣品反射率：0.05%-100%

水平調整：±5°手動

粗糙度RMS重復性：0.005nm

臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ

主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、快速高效

生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司

產品型號：SuperView W1-Pro

產品名稱：光學3D表面輪廓儀

影像系統：1024×1024

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY位移平臺：尺寸300×300mm，行程200×200mm，電動

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可測樣品反射率：0.05%-100%

水平調整：±5°手動

粗糙度RMS重復性：0.005nm

臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ

主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、快速高效

生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司

技術指標

產品特點

參數測量：粗糙度、微觀輪廓尺寸、角度、面積、體積，一網打盡；

環境噪聲檢測：實時監測，納米波動，也無可藏匿；

雙重防撞保護：軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器，讓“以卵擊石"也能安然無恙；

自動拼接：3軸光柵閉環反饋，讓3D拼接“天衣無縫"；

雙重振動隔離：氣浮隔振，吸音隔振，任你“地動山搖，我自巋然不動"。

產品性能

縱向掃描：≤10.3mm，與選用物鏡相關

掃描幀速：50FPS/s

粗糙度重復性：0.005nm（依據ISO 25178-2012）

光學分辨率：0.4μm~3.7μm，與選用物鏡相關

*大點數：1048576（標準）

臺階測量：準確度≤0.3%，重復性≤0.08%1σ

SuperView W1系列三維表面形貌儀結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數。可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。