從“制造”到“智造”：中圖光學測量儀器的進階與應用

在當今全球化和科技快速發展的時代，制造業正經歷著從傳統的“制造"模式向智能化的“智造"模式的深刻轉變。消費者對產品質量和個性化的要求越來越高，產品的更新換代速度加快，傳統的制造模式難以滿足這些需求。

例如，在半導體芯片制造領域，隨著芯片制程的不斷縮小，對芯片表面的平整度和粗糙度等微觀幾何特征的要求越來越高。同時，3C電子行業的快速發展也促使產品更新換代加速，對產品質量和個性化的要求也日益嚴苛。同時，勞動力成本上升、原材料價格波動等因素也給制造業帶來了巨大的壓力。

在這種背景下，制造業必須轉型升級，實現智能化生產，提高生產效率和產品質量，降低成本，增強市場競爭力。這一轉變不僅是技術的革新，更是適應市場競爭和滿足社會需求的必然選擇。在這個過程中，先進的測量儀器起著至關重要的作用，它們為制造業提供了精確的數據支持和質量保障。

從“制造"到“智造"，中圖光學測量儀器為提高產品質量和推動行業發展提供有力的技術支持。

1、SuperView W1光學3D表面輪廓儀

（1）產品特點與應用

SuperView W1光學3D表面輪廓儀以其先進的白光干涉技術在精密測量領域脫穎而出。它能夠對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量，單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質等所有類型樣件表面的測量，可測各類從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。在半導體制造中，它可以精確測量芯片表面的微觀幾何特征，為芯片制造工藝的優化提供關鍵數據支持，確保芯片在更小制程下的性能和穩定性。

（2）助力“智造"轉型

該儀器的高效測量功能，如單區域自動測量、多區域自動測量、自動拼接測量和編程測量等，大大提高了測量效率，符合智能化生產對高效檢測的要求。同時，其精準的數據處理與分析能力，包括位置調整、去噪、濾波、提取四大模塊的數據處理功能以及粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能，能夠獲取準確的2D、3D參數，為產品質量控制和生產工藝優化提供了有力依據。

2、VT6000共聚焦顯微鏡

（1）產品特點與應用

VT6000系列共聚焦顯微鏡采用共聚焦技術，為精密器件及材料表面的微納米級測量提供了可靠的解決方案。它具備3D測量功能，能夠表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能，提供更全面的表面形貌信息。在光學加工領域，它可以精確測量光學鏡片的表面粗糙度和微觀幾何輪廓，確保光學鏡片的光學性能符合高標準要求。

（2）助力“智造"轉型

除了3D測量功能外，它還具備影像測量功能可進行長度、角度、半徑等尺寸測量，以及自動拼接功能能夠實現大區域的拼接縫合測量。這些功能與精準的數據處理與分析能力，包括調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能以及粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能相結合，確保測量結果的準確性，為生產工藝優化和產品質量提升提供了重要支持，推動制造業向智能化邁進。

3、SuperView WT3000復合型光學3D表面輪廓儀

（1）集合優點

·測量模式的集成：當測量超光滑和透明的表面形貌時，可使用白光干涉模式的高精度測量能力，可獲得高精度無失真的圖像并進行粗糙度等參數的分析；當測量有尖銳角度的粗糙表面特征時，使用共聚焦顯微鏡模式的大角度測量能力，可實現大角度的3D形貌圖像重構。

·廣泛的測量范圍：能夠對從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面進行測量，涵蓋了SuperView W1和VT6000的測量范圍，可測各類從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

·精準的數據處理與分析：提供位置調整、去噪、濾波、提取四大模塊的數據處理功能，以及粗糙度分析、幾何輪廓分析、動態分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能，與SuperView W1和VT6000的數據處理和并行的功能相似，確保測量結果的準確性。

（2）應用優勢

·滿足多樣化需求：無論是在半導體制造、光學加工等超精密加工行業，還是在航空航天、科研院所等領域，都能滿足對精密器件及材料表面進行測量的需求。在當前半導體芯片制造對微觀幾何特征要求高的背景下，它能提供全面準確的測量，確保芯片質量。

·提供全面的評價標準：可提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準，為產品質量的評估提供了全面的依據，符合不同行業對產品質量評估的規范要求。

這三款光學測量儀器能夠精確測量產品表面的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓等參數，為產品質量的控制提供了準確的數據支持；測量不同階段產品的表面形貌，為生產工藝的優化提供數據依據；通過提高產品質量和優化生產工藝，制造商可以降低產品的廢品率和返工率，從而降低生產成本。同時，這三款儀器的高效測量功能也可以提高測量效率，減少測量時間和人力成本。在當前制造業競爭激烈，成本控制至關重要的情況下，這三款儀器為企業提供了有效的成本控制手段。

例如在3C電子行業，通過精確測量手機屏幕玻璃的粗糙度和微觀幾何輪廓，可以確保屏幕的顯示效果和觸感。通過對測量數據的分析，制造商可以及時發現產品存在的問題，采取相應的措施進行改進，從而提高產品質量。

在半導體制造中，通過測量芯片表面在不同工藝階段的粗糙度和微觀幾何輪廓，可以優化光刻、蝕刻等工藝，提高芯片的制造質量和生產效率。

從“制造"到“智造"是制造業發展的必然趨勢，先進的測量儀器是實現這一轉變的重要支撐。在未來的制造業發展中，這些測量儀器將不斷創新和發展，為制造業的智能化升級提供更強大的動力。