數控機床檢測技術之激光干涉儀角度測量

目前，在幾何量測量中最重要的激光技術是用廣電轉換條紋計數等方法來測量長度，這種方法具有精度高、速度快、量程大、始于非接觸測量及自動測量等優點。基于激光干涉儀技術的精密角度測量系統，通過角度轉換裝置將角度量轉換為可以反映干涉光路中光程差變化的線性位移量，由此引起干涉條紋的變化，再通過相應電路對干涉條紋進行一系列處理，從而實現了對大轉角的精密測量。具有結構簡單、誤差恒定、測量精度高、測角范圍大、易于數字化等特點。

激光干涉儀利用激光作為長度基準，可以對數控設備（加工中心、三坐標測量機等）的位置精度（定位精度、重復定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等）進行精密測量。其中角度測量主要應用于運動軸的角擺測量和轉軸的旋轉角度測量。可高精度檢測機床/三坐標精度誤差。

激光干涉儀角度測量法原理

角度反射鏡旋轉時產生轉角，或是移動過程中產生角擺，兩束反射光會有相對應的光程差產生，SJ6000采集到該光程差的干涉信號，經過運算處理，即可得出對應的角度值。

角度測量原理構建圖

激光干涉儀測量角度基本配置：

角度測量配置主要由SJ6000主機、角度鏡組、SJ6000靜態測量軟件等組件構成，可滿足±10°范圍內的角度測量。

運動軸的俯仰角度測量示意圖

運動軸的偏擺角度測量示意圖

《激光干涉儀測量機床精度之線性測量》