SuperView W1白光干涉儀——微觀形貌測量利器

近年來，在新興技術的高速發展和強力推動下，超精密加工技術不斷發展和進步。微機電系統、微光學元件等微觀結構的制造與發展，對微結構表面形貌測量的高精度和高可靠性等要求日漸提高。表面形貌不僅對接觸部件的機械與物理特性產生影響，而且也會影響非接觸表面的特性，如光學器件的反射等等。對結構的測量是對結構加工的先決條件和質量保證，所以表面形貌的測量在材料和工程零部件的屬性和功能方面起著至關重要的作用，由此對于微納結構的測量方法精度要求越來越高，表面形貌測量技術在技術成熟方面和應用范圍方面都得到了發展。

  表面形貌測量廣泛應用于刀具檢測、精密加工、材料科學、電子工業、生物醫學等相關領域，尤其是在超精密加工、微機電系統制造領域，隨著超精密加工技術的發展，微結構由結構簡單、形狀規則的工件逐漸擴展到結構復雜、形狀不規則的工件，對微結構進行高精度、高可靠性表面形貌測量越來越重要。微結構的表面三維形貌會對器件的可靠性和使用性能產生影響，同時也可反映工件加工的好壞，以改善工件質量。因此，表面測量技術對保證產品的高性能和高穩定性具有重要意義。

  當前現有的微結構測量方法可以分為非光學和光學測量方法。其中光學測量方法以精度高、效率高、無損害等優點得到廣泛應用。光學測量方法精度上已經達到納米級別，我們今天介紹的就是一種簡單快速、適用性廣的表面形貌測量方法——白光干涉測量法。

白光干涉儀是利用光學干涉原理研制開發的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經半反半透分光鏡分威兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據白光干涉條紋明暗度以及干涉條紋出現的位置解析出被測樣品的相對高度。

SuperView W1白光干涉儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。